多弧离子镀（TiXAlY）N系超硬薄膜中Al的作用

被引：23

作者：

张德元

邓鸣

彭文屹

许兰萍

杨春燕

机构：

[1] 江西省科学院应用物理研究所

来源：

关键词：

多弧离子镀,(TiXAlY)N,超硬薄膜;

D O I：

10.14136/j.cnki.issn1673-2812.1997.02.013

中图分类号：

TG174.4 [金属表面防护技术];

学科分类号：

摘要：

本文考察了Ａｌ量对多弧离子镀（ＴｉＸＡｌＹ）Ｎ膜层的硬度、孔隙率、耐磨性、摩擦系数、结合力等因素的影响。并利用扫描电镜、电子探针、Ｘ射线衍射仪及俄歇电子谱仪对膜进行了分析，并对磨损机理作了初步探讨

引用

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