高测速双频激光干涉仪

被引：22

作者：

高赛

殷纯永

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系!北京

来源：

光学技术 | 2001年 / 03期

关键词：

双频激光干涉仪; 高测速;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.03.016

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到 10 0 0 mm/ s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此研制了一种基于 5 MHz频差双反射膜激光器的高测速干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度进行了验证。实验证明 ,该种干涉仪可以对速度为 10 0 0 mm/ s的运动物体进行位移和速度测量

引用

页码：238 / 239+246 +246

页数：3

共 7 条

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