等离子体辅助的金属表面氮化的Monte-Carlo模拟

被引：1

作者：

张连珠

孔令宜

何琪

机构：

[1] 河北师范大学物理学院

[2] 河北师范大学物理学院河北石家庄

[3] 河北石家庄

来源：

河北师范大学学报 | 2003年 / 06期

关键词：

金属表面氮化; 氮直流辉光放电; Monte-Carlo模拟; 离解碰撞;

D O I：

10.13763/j.cnki.jhebnu.nse.2003.06.013

中图分类号：

O539 [等离子体物理的应用];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

采用快电子和重粒子(N2+,N+,Nf)混合的Monte Carlo模型,计算了氮直流辉光放电等离子体辅助的金属表面氮化过程中,原子态粒子(N+,N)的产生率及氮化粒子(N+,Nf)轰击靶表面的粒子数密度及入射角随气体温度的变化规律.结果表明,粒子(N+,N)的产生率及在靶表面的密度分布都随着放电气体温度的升高而减少;粒子(N+,Nf)在工件表面的分布均匀且主要表现为小角入射,入射角的分布受温度的影响较小.模拟结果与实验结果符合得较好.

引用

页码：589 / 592

页数：4

共 5 条

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