新型大量程LTP控制系统及数据处理系统

被引：1

作者：

杜国浩

肖体乔

夏绍建

温利

徐洪杰

机构：

[1] 中国科学院上海应用物理研究所

[2] 中国科学院上海应用物理研究所上海

[3] 上海

来源：

核技术 | 2004年 / 07期

关键词：

面阵CCD; 线性导轨; 位相板; 质心法; 衍射图像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP273.5 [];

学科分类号：

080201 ; 0835 ;

摘要：

讨论了最近研制成功的新型大量程长程面形仪(LTP)中精密线性导轨扫描、定向移动以及高精度任意步长等运动的控制;采用面阵CCD获取准直激光束通过位相板形成的衍射图像、经采集卡数字化,由计算机完成数据处理。数据处理中实现了MATLAB与VC++程序间的通信,采用质心法分离测量光斑以及参考光斑,并利用MATLAB中神经网络算法求取位相板衍射图像中暗线位置,达到了设计要求的精度。

引用

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