中频脉冲溅射制备绒面ZnO透明导电薄膜

被引：9

作者：

刘佳宇 ^{[1
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杨瑞霞 ^{[1
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牛晨亮 ^{[1
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薛俊明 ^{[2
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赵颖 ^{[2
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耿新华 ^{[2
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机构：

[1] 河北工业大学信息学院

[2] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室,光电信息技术科学教育部重点实验室

来源：

微纳电子技术 | 2006年 / 04期

关键词：

中频脉冲溅射; 绒面氧化锌; 透明导电膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM24 [导电材料及其制品];

学科分类号：

080508 [光电信息材料与器件];

摘要：

采用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。电阻率为5.57×10-4Ω·cm,载流子浓度2.2×1020cm-3,霍尔迁移率40.1cm2/V·s,可见光范围内(400～800nm)的平均透过率大于85%。用酸腐蚀的方法可以获得绒面效果。分析了气压和温度对绒面结构的影响,获得了适合薄膜太阳能电池要求的绒面ZnO透明导电薄膜。

引用

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页数：4