未找到相关数据
激光气相合成Si/C/N纳米复合粉
被引：2
作者：
潘正伟
李华伦
张立同
机构：
[1] 西北工业大学凝固技术国家重点实验室
来源：
关键词：
激光，六甲基二硅胺烷，NH3，Si／C／N纳米复合粉;
D O I：
10.13801/j.cnki.fhclxb.1997.02.007
中图分类号：
TF123.74 [];
学科分类号：
摘要：
本文以大功率ＣＯ２激光器为能源，以廉价的六甲基二硅胺烷［（ＣＨ３）３Ｓｉ］２ＮＨ（简称ＨＭＤＳ）和ＮＨ３（加或不加）为原料，合成出纳米非晶Ｓｉ／Ｃ／Ｎ复合粉末。研究了ＨＭＤＳ流量和ＮＨ３对粉末组成的影响。结果表明：随ＨＭＤＳ流量（１０００～２０００ｍｌ／ｍｉｎ）的升高，粉末的碳含量稍微降低，氢含量稍微升高，而硅、氮含量基本不变。加入ＮＨ３可大幅度降低粉末的碳含量，提高氮含量。粉末的粒径分布范围为１０～５０ｎｍ，为非晶态。在实验范围内，粉末的制备产率为６２～１１３ｇ／ｈ。
引用
收藏
页码：37 / 41
页数：5
相关论文