用电子显微镜剖析存储器器件

被引：3

作者：

刘剑霜

谢锋

陈一

胡刚

机构：

[1] 复旦大学材料科学系国家微分析中心

[2] 复旦大学材料科学系国家微分析中心上海

[3] 上海

来源：

关键词：

扫描电子显微镜; 透射电子显微镜; 栅氧化层;

D O I：

10.13290/j.cnki.bdtjs.2004.05.020

中图分类号：

TP333 [存贮器];

学科分类号：

081201 ;

摘要：

简要介绍了扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)两种当前主要的电子显微分析工具在存储器器件分析过程中的应用,讨论了它们各自的适用范围以及测量精度,指出两者的有机结合可以得到比较全面的分析结果。

引用

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