离子的轰击对Si衬底上金刚石核附着力的影响

被引：4

作者：

王必本

王万录

廖克俊

肖金龙

方亮

机构：

[1] 重庆大学理学院应用物理系!重庆

来源：

关键词：

金刚石膜; 离子轰击; 核化; 附着力;

D O I：

暂无

中图分类号：

O482 [固体性质];

学科分类号：

070205 ; 0805 ; 080502 ; 0809 ;

摘要：

利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对负衬底偏压增强金刚石核化的过程进行了分析 ,从理论上探索了负衬底偏压作用下离子的轰击效应增强金刚石核在Si衬底上附着力的机理 ,给出了金刚石核与衬底的附着力和衬底负偏压之间的关系 .

引用

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