共 1 条
不同有机衬底上沉积的ZnO ∶Al透明导电膜的研究
被引：23
作者：
陈源
张德恒
马瑾
杨田林
机构：
[1] 山东大学物理系!
[2] 山东大学光电材料与器件研究所!
[3] 淄博学院基础部!
来源：
关键词：
磁控溅射;
有机衬底;
ZnO∶Al透明导电膜;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN304.055 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
用射频磁控溅射法在不同的有机衬底上制备出附着性好、电阻率低、透射率高的 Ｚｎ Ｏ∶ Ａｌ的透明导电膜，并研究了薄膜的结构、电学和光学特性。
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