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类金刚石膜结构的红外分析
被引：9
作者：
程宇航
吴一平
陈建国
乔学亮
谢长生
孙育斌
机构：
[1] 华中理工大学材料科学与工程系
[2] 武汉工业大学分析测试中心
来源：
关键词：
类金刚石薄膜，结构，Fourier红外光谱，直流－射频等离子化学气相沉积;
D O I：
10.14062/j.issn.0454-5648.1998.04.016
中图分类号：
O434.319,O484.1 [];
学科分类号：
070207 ;
0803 ;
摘要：
采用直流－射频等离子化学气相沉积方法制备出类金刚石薄膜，用Ｆｏｕｒｉｅｒ透射谱和吸收谱对类金刚石膜的结构进行了研究．类金刚石膜中大部分碳原子以ｓｐ３组态存在．结合在膜中的氢原子与碳原子之间可形成ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２，ｓｐ３Ｃ—ＣＨ３和ｓｐ２Ｃ—ＣＨ２基，其含量以ｓｐ３Ｃ—ＣＨ２基为主．增加Ａｒ气分压与提高极板负偏压对类金刚石膜结构产生的影响是相似的，增大极板负偏压或Ａｒ气的含量将减小类金刚石膜中ｓｐ３／ｓｐ２比值和Ｈ的含量以及ＣＨ２基的含量，同时增加薄膜的交联，减少聚合相的含量．
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