高能量飞秒激光脉冲对硅和玻璃的附带损伤

被引：5

作者：

王延深 ^{[1
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王波 ^{[1
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董申 ^{[1
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梁迎春 ^{[1
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吴文智 ^{[2
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孙涛 ^{[1
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机构：

[1] 哈尔滨工业大学精密工程研究所

[2] 哈尔滨工业大学凝聚态科学与技术研究中心

来源：

机械工程学报 | 2006年 / S1期

基金：

黑龙江省自然科学基金;

关键词：

飞秒激光; 附带损伤; 表面形貌; 纳米压痕;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN405 [制造工艺]; TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

采用高能量飞秒激光脉冲对硅片和载玻片的未抛光表面进行了烧蚀,对烧蚀后样品的表面形貌和纳米力学性能进行了检测。用显微镜对烧蚀后样品的表面形貌进行检测,硅片烧蚀后正面形貌随位置不同发生渐变,而烧蚀后玻璃正面烧蚀区与未烧蚀区有明显界限。用原子力显微镜对烧蚀后样品的预抛光背面进行了检测,发现硅片烧蚀前后背面形貌未发生显著变化;而玻璃烧蚀前后背面形貌发生了明显改变,且烧蚀区与未烧蚀区的背面形貌有较为明显的界限。利用原位纳米力学测量仪对样品抛光背面的纳米力学性能进行了测量,发现硅片背面纳米力学性能有与正面烧蚀区渐变形貌相对应的规律性变化,而玻璃烧蚀前后背面的纳米力学性能则无显著变化。样品表面微观形貌和纳米力学性能的规律性变化在一定程度上反映了高能量飞秒激光脉冲在样品背面产生附带损伤的分布情况。

引用

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