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化学气相淀积技术合成AIN超细粉末
被引：4
作者：
李春忠
胡黎明
陈敏恒
朱远征
程晓鸣
机构：
[1] 华东化工学院技术化学物理研究室
[2] 华东化工学院技术化学物理研究室 上海
[3] 上海
[4] 上海
来源：
基金：
高等学校博士学科点专项科研基金;
关键词：
氮化铝;
化学气相淀积;
超细粉末;
D O I：
10.14062/j.issn.0454-5648.1993.01.015
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
在700～1000℃下,用无水AlCl3和NH3的化学气相淀积反应合成得到了AlN超细粉末,并研究了反应温度、总流量、AlCl3浓度等对AlN粉末理化性质的影响。结果表明:（1）粉末的形态受反应温度和[NH3]/[AlCl3]的影响;⌒2)粉末的粒度与分布宽度随反应温度的增加、总流量的增加以及AlCl3浓度的减小而减小;（3）产物AlN粉末中晶态AlN的含量随反应温度的升高而增加;（4）产物A1N中副产物NH4Cl可经600℃热处理除去;（5）非晶态AlN在1450℃下可转变为晶态AlN,其粒径小于250nm,几何标准方差GSD小于1.3,氮含量大于33.5％,氧含量小于1％,氯含量小于0.1％,阳离子杂质含量小于1.5×10-2％。
引用
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