共 2 条
[1]
硅EPW各向异性腐蚀中残留物的研究[J]. 吴宪平.电子学报. 1990
[2]
力学量敏感器件及其应用[M]. 科学出版社 , 牛德芳 编著, 1987
扩散硅压力传感器性能优化研究
被引：7
作者：
吴宪平
胡美凤
机构：
[1] 复旦大学电子工程系
来源：
关键词：
压力传感器;
硅;
扩散;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文论述了实现扩散硅压力传感器性能优化的一些技术措施、设计原理和工艺技术.采用矩形双岛硅膜结构等新型微机械结构可提高灵敏度和精度并实现过压保护;通过改善工艺并进行表面钝化、改进封装工艺与结构等可改善稳定性;用恒压源及三极管补偿法和等效电阻最佳耦合法可对其灵敏度、零位温度系数进行补偿;采用各向异性腐蚀工艺技术可实现集成化生产.
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