飞秒激光诱导金属功能微结构的机理与应用

被引：6

作者：

赵全忠

邱建荣

姜雄伟

赵崇军

朱从善

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室

[2] 中国科学院上海光学精密机械研究所光子技术实验室上海

[3] 上海

来源：

关键词：

飞秒激光; 功能微结构; 激光微加工; 激光烧蚀; 金属;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG665 [光能加工设备及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

介绍了飞秒激光与金属相互作用的机理以及飞秒激光在金属超加工方面的一些最新应用。基于一维双温扩散模型分析了飞秒激光与金属相互作用的超快机制;介绍了飞秒激光加工光电倍增管电极,修复光刻掩膜,诱导白炽灯丝阵列微孔等一些工业应用。

引用

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