溶胶-凝胶法制备TiO2-SiO2复合薄膜的研究

被引：10

作者：

翟继卫

张良莹

姚熹

机构：

[1] 西安交通大学电子材料研究所

来源：

功能材料 | 1998年 / 03期

关键词：

溶胶－凝胶,TiO2,SiO2,薄膜,光学性能,电学特性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TQ427 [胶体与半胶体物质];

学科分类号：

摘要：

采用溶胶－凝胶方法在单晶Ｓｉ基片上制备了ＴｉＯ２－ＳｉＯ２复合薄膜，研究了溶剂、ｐＨ值对先体溶液成胶时间的作用，溶液的浓度、甩胶时的旋转速度、涂覆层数以及热处理温度对薄膜厚度、光学性能的影响。薄膜的折射率随温度增大，其主要贡献来自于薄膜中结构的变化。并测量了薄膜的Ｉ－Ｖ、Ｃ－ｆ特性，由于薄膜中的热击穿效应而使得ＴｉＯ２含量较高的薄膜２的Ｉ－Ｖ呈非线性变化。

引用

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