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YAG调Q激光陶瓷基板划片机
被引:6
作者
:
朱三又
论文数:
0
引用数:
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0
机构:
上海市激光技术研究所!上海
朱三又
黄宣劭
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机构:
上海市激光技术研究所!上海
黄宣劭
姜兆华
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机构:
上海市激光技术研究所!上海
姜兆华
机构
:
[1]
上海市激光技术研究所!上海
[2]
不详
来源
:
应用激光
|
1998年
/ 06期
关键词
:
陶瓷基板;
激光划片;
声光调Q;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN249 [激光的应用];
学科分类号
:
摘要
:
分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案,解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术,整机达到了预定指标和实用效果。
引用
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页码:249 / 250+248 +248
页数:3
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