YAG调Q激光陶瓷基板划片机

被引:6
作者
朱三又
黄宣劭
姜兆华
机构
[1] 上海市激光技术研究所!上海
[2] 不详
关键词
陶瓷基板; 激光划片; 声光调Q;
D O I
暂无
中图分类号
TN249 [激光的应用];
学科分类号
摘要
分析了YAG调Q激光陶瓷基板划片的机理.提出了较完善的整机总体设计方案,解决了百瓦级YAG激光的声光调Q、工件走位高定位精度高重复精度与高速进给等关键技术,整机达到了预定指标和实用效果。
引用
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页数:3
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