纳米硬度技术在表面工程力学性能检测中的应用

被引:48
作者
张泰华
杨业敏
机构
[1] 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
关键词
纳米压痕硬度; 纳米划痕硬度; 力学性能; 表面工程;
D O I
暂无
中图分类号
TB9 [计量学];
学科分类号
080101 [一般力学与力学基础];
摘要
结合纳米硬度技术测量各类薄膜和块体材料表层的纳米压痕硬度、弹性模量、断裂韧性、膜厚、微结构的弯曲变形,采用纳米划痕硬度技术测量各类薄膜和块体材料的粗糙度、临界附着力、摩擦系数、划痕横剖面。纳米硬度计是检测材料表层微米乃至几十纳米力学性能的先进仪器,可广泛应用于表面工程中的质量检测。
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