圆光栅的高精度高质量莫尔条纹信号的研究

被引:27
作者
朱应时,杨进堂
机构
[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所
关键词
莫尔条纹,圆光栅,位移信号,测角角度;
D O I
暂无
中图分类号
O436 [物理光学(波动光学)];
学科分类号
摘要
本文研究在圆光栅作为分度基准的高精度测角设备中,提高莫尔条纹信号精度和质量的方法。采用大视场接收、十头平均和裂相差分,获得较好的结果。
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页码:280 / 285+296
页数:7
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