高性能128×128元 PtSi肖特基势垒红外焦平面列阵

被引：7

作者：

杨家德

李作金

杨亚生

机构：

[1] 重庆光电技术研究所

[2] 重庆光电技术研究所永川教授级高工

[3] 永川

来源：

关键词：

红外焦平面列阵; 光腔; 埋沟 CCD; PtSi;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.1993.02.006

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

设计并研制成功128×128元 PtSi 肖特基势垒红外 CCD(PtSi-SBIRCCD)焦平面列阵。介绍了该器件的工作原理。阐述了器件结构和设计思想,并就器件的性能参数进行了研究。

引用

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