新型大扫描范围原子力显微镜的研究

被引：4

作者：

施洋

章海军

机构：

[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

[2] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州

[3] 浙江杭州

来源：

光电工程 | 2004年 / 06期

关键词：

原子力显微镜; 控制系统; 大范围扫描; 拼接图像;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

研制了一种大扫描范围原子力显微镜(AFM)。设计了新的扫描驱动电路,使单幅图像的扫描范围大幅度提高;用步进电机和扫描器配合扫描,得到序列图像,序列图像拼接后获得大范围样品图像。实验结果表明,采用这一方法,在±150V 的电压驱动下,AFM 的扫描范围可增大到10 ìm?1 mm 的量级,同时保持 1 nm 量级的测试分辨力。

引用

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