采用CCD的非接触测量中提高精度的一种方法

被引:37
作者
李佳列
丁国清
颜国正
朱洪海
机构
[1] 上海交通大学信息检测技术及仪器系
关键词
电荷耦合器件; 尺寸测量; 边缘检测; 梯度;
D O I
暂无
中图分类号
TP274.5 [];
学科分类号
摘要
利用CCD传感器对工件进行测量是非接触测量领域的常用方法 ,但受到CCD像元特征尺寸的限制 ,测量精度往往只能达到微米级 ,限制了该系统在非接触测量方面的更广泛应用。本文从算法角度提出了一种提高CCD精度的方法。实验证明 ,方法能将测量的精度提高一个数量级
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