反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工

被引：30

作者：

范镝

张学军

张忠玉

牛海燕

丰玉琴

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术中心吉林长春　,吉林长春　,吉林长春　,吉林长春　,吉林长春

来源：

光学技术 | 2003年 / 06期

关键词：

反应烧结碳化硅; 光学加工; 面形精度; 粗糙度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH706 [制造工艺];

学科分类号：

080201 [机械制造及其自动化];

摘要：

介绍了100mm口径反应烧结碳化硅平面反射镜的光学加工工艺流程。按照流程依次介绍了在粗磨成形、细磨抛光和精磨抛光过程中使用的机床、磨具和磨料以及采用的工艺参数和检测方法。介绍了在光学加工各个步骤中应注意的问题。展示了加工后反应烧结碳化硅平面反射镜的实物照片。给出了面形精度和表面粗糙度的检测结果:面形精度(95%孔径)均方根值(RMS)为0.030λ(λ=632.8nm),表面粗糙度RMS值达到了1.14nm(测量区域大小为603 6μmⅹ448 4μm)。

引用

页码：667 / 668+674 +674

页数：3

共 4 条

[1]

新型反射镜材料——碳化硅 [J].