折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究

被引：14

作者：

许乔

叶钧

周光亚

侯西云

杨国光

包正康

余中如

机构：

[1] 浙江大学高技术现代光学中心,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室

来源：

关键词：

微透镜列阵，微光学，测试，光刻胶;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法，获得了２０×２０的折射型微透镜列阵，单元微透镜相对口径为Ｆ／２，单元透镜直径为９０μｍ，中心间隔１００μｍ，透镜的波像差小于１．３波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法，并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。

引用

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