小型壁稳氩弧紫外-真空紫外光源的研究

被引：4

作者：

李福田

孙国华

刘元群

陈星旦

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所,中国科学院长春光学精密机械研究所

来源：

光学学报 | 1984年 / 11期

关键词：

电子密度; 光谱学; 电流; 理论计算; 单色仪; 电子浓度; 光谱辐射亮度; 等离子体温度; 原子谱线; 紫外; 真空紫外光源; 对数曲线; 泵单元; 连续光谱; 气压; 杂质线; 离子谱线; 弧光谱; 氩弧;

D O I：

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中图分类号：

学科分类号：

摘要：

已研制成配有四级差分泵单元的2.5kW小型壁稳氩弧光源.其光谱辐射稳定性和重复性优于±0.5%,一致性优于±1%.其连续光谱分布可用Hofsaess理论计算,准确度达10%.等离子体光谱学诊断表明:氩弧电流40A、气压1.75×10～5Pa时,等离子体温度为12,650K,电子密度为1.29×1017cm-3.

引用

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