激光烧蚀Al表面溅射Al正离子的平动能分布测定和机理研究

被引：4

作者：

方尔梯

黄正宇

张谊华

何波

张抗战

李作坤

曾宪康

机构：

[1] 华东理工大学化学物理研究室

[2] 华东理工大学化学物理研究室上海

[3] 上海

[4] 上海

来源：

关键词：

紫外激光; 激光烧蚀; 铝; 离子;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

用柱面镜离子能量分析器测定了准分子激光烧蚀Al靶产生的Al+和Al2+离子的平动能分布,Al+离子平动能分布主要由二组离子构成,最可几平动能分别为15eV和50eV,较高平动能组离子的产生有一个激光通量阈值,大约为0.9J/cm2,对产生两组离子的不同机理进行了研究和讨论。

引用

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