平板表层缺陷检测涡流阵列传感器的设计

基于互感式传感器涡流检测的数值计算方法,综合检测灵敏度和空间分辨率对涡流阵列传感器线圈单元不同中心距、平均半径、高度等参数进行了分析。提出了与涡流阵列检测不敏感区域密切相关的参数——线圈单元组有效检测区域比率,基于该参数进行了涡流阵列传感器排布方式的优化设计。研究结果表明:相同检测条件下,线圈单元平均半径越小,线圈单元高越小,检测灵敏度越大;线圈单元中心距大小与检测灵敏度呈先递增后递减的关系,在接近且小于4倍的线圈单元外径处检测灵敏度存在一极值点;线圈单元平均半径越小,涡流阵列传感器的空间分辨率越高;交错型涡流阵列传感器相邻单元组叠加方式不敏感区域最小,漏检可能也最小。