溶胶-凝胶法制备SiO2膜的研究

被引:14
作者
周耀,张华民,赵修仁,陈永英
机构
[1] 大连理工大学化工学院无机化学教研室
关键词
SiO2膜,溶胶-凝胶法,孔径,渗透;
D O I
10.14062/j.issn.0454-5648.1995.01.013
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
研究了正硅酸乙酯(TEOS)和硅溶胶水解聚合过程中溶胶聚合物分子的生长过程。用TEOS和硅溶胶作原料,用溶胶-凝胶法制备了有载体和无载体的SiO_2膜。由不同原料引起的聚合物分子的不同生长模式将引起无载体SiO_2膜孔径的较大差异。用TEOS制得的无载体SiO_2膜无1.7nm以上的孔,而用硅溶胶制得的SiO_2膜平均孔径为7.5nm,且孔径分布狭窄。用TEOS作原料可在载体α-Al_2O_3上制得无大孔缺陷厚约0.8μm的SiO_2膜,膜的纯氮气渗透表现出Knudsen扩散特征。制膜时涂膜-干燥循环不少于三次才可避免产生大孔缺陷。
引用
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页码:73 / 78+84
页数:7
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