碳化硅作为先进材料的应用与制备

被引:1
作者
黄汉生
机构
关键词
SIC; 非晶; 衬底; 基片; 多晶型; 碳化硅; 电子器件; 掩膜; 反光镜; 反射镜; 化学气相淀积; 太阳电池; 结构件;
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
<正> 很少材料具有和碳化硅(SiC)一样卓越的综合性能。在物理性质方面,碳化硅具有几乎和金刚石一样的极高硬度,它能耐1000℃以上的温度,在这样的高温下不发生明显变化。作为半导体,和硅一样,碳化硅具有许多优良特性,适合用于在高温和高频条件下工作及在辐射环境中工作的电子器件。它还有透明性,刚性和强度极高的特点。由于具有这样一些引人注目的特性,SiC一直是由研磨材料到高温器件的各种传统与精密用途的首选材料。
引用
收藏
页码:28 / 30
页数:3
相关论文
empty
未找到相关数据