一种用计量光栅实现2nm测量分辨率的新方法

被引：16

作者：

余文新

邹自强

胡小唐

机构：

[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室!天津

[2] 北京光电量仪研究中心!北京

来源：

关键词：

光栅; 细分; 纳米测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741.6 [];

学科分类号：

摘要：

提出一种利用正切函数在零点附近的小范围内线性度非常好的特点，对计量光栅技术中计算机正切细分法进行扩展，在信号处理电路中设计出一个量程比较小的精测档，以获得更高的纳米级的测量分辨率的新方法，并进行了详细充分的实验验证。

引用

页码：35 / 38

页数：4