MOEMS光学系统的发展与应用

被引：3

作者：

耿凡

机构：

[1] 天津津航技术物理研究所天津

来源：

红外与激光工程 | 2005年 / 01期

关键词：

微光电子机械系统; 光学系统; 制作技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN25 [波导光学与集成光学];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

概述了MOEMS光学系统的种类和特点,介绍了几种主要的MOEMS光学产品、机理和应用方向,阐明了其作为光电技术的前沿所具有的重要作用和广阔前景,提出了相关的研究建议。

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共 1 条

[1] 微光学技术及其发展 [J].

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红外与激光工程, 2001, (04) :157-162