TiN/NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应

被引：3

作者：

李戈扬

许俊华

田家万

顾明元

戎咏华

机构：

[1] 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室!上海

[2] 上海交通大学高温材料与高温测试教育部开放实验室!

来源：

电子显微学报 | 2000年 / 04期

关键词：

纳米多层膜; 超硬度效应; 外延生长; 多晶; 晶体生长; 晶体; TiN/NbN; 调制周期;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

引用

收藏

页码：431 / 432

页数：2

相关论文

共 3 条

[1]

Selinder T I,Sjostrand M E,Nordin M,et al. Surface and Coatings Technology . 1998

[2]

Selinder T I,Sjostrand M E,Nordin M,et al. Surface and Coatings Technology . 1998

[3]

Shinn M,Barnet S A. Applied Physics Letters . 1994