共 2 条
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电荷转移器件.[M].[美]塞甘(C·H·Seqguin);[美]汤普塞(M·F·Tompse) 著;王以铭 译.科学出版社.1979,
应用概率论提高CCD尺寸测量的分辨力
被引：11
作者：
郭彦珍
尹国鑫
机构：
[1] 陕西机械学院,陕西机械学院
来源：
关键词：
尺寸测量;
光敏;
分辨力;
CCD;
概率论;
数学理论;
D O I：
10.19650/j.cnki.cjsi.1988.02.006
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
CCD 尺寸测量直接采用脉冲计数法的主要缺点是分辨力差。本文提出一种基于概率论的动态多周期采样平均测量法,可以使测量分辨力提高一个数量级,从而使测量精度显著的提高。本文论述了测量原理及方法,介绍了实验结果。
引用
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页码：149 / 154
页数：6
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