工作气压对电子束沉积ZrO薄膜折射率和聚集密度的影响

被引：5

作者：

郝殿中

吴福全

马丽丽

闫斌

张旭

机构：

[1] 曲阜师范大学激光研究所

来源：

关键词：

薄膜; ZrO2薄膜; 折射率; 聚集密度; 电子束蒸发;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

采用电子束蒸发的方法,用石英晶体振荡法监控薄膜的蒸发速率,在不同工作气压下制备了ZrO2薄膜样品.在相调制型椭圆偏振光谱仪和分光光度计上对样品的光谱特性进行了测试.根据波长漂移的理论,计算出薄膜的聚集密度.结果表明,随着工作气压的降低,薄膜的聚集密度和折射率都随之增大.

引用

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