Ti-Al-N系功能梯度薄膜结合力的实验研究

被引：14

作者：

侯晏红

乔学亮

吴一平

李贺军

机构：

[1] 西北工业大学材料科学及工程学院!陕西西安

[2] 华中理工大学材料学院!湖北武汉

来源：

关键词：

Ti-Al-N; 功能梯度薄膜; 划痕法; 结合力;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用划痕法测试了不同成分的Ti -Al-N系功能梯度薄膜及其均质薄膜的膜基结合力。结果表明 ,Ti-Al-N系功能梯度薄膜的膜基结合力高于均质膜 ,且随着氮分压变化间隔的增加 ,结合力逐渐增大。基于膜基匹配及残余应力与结合力的关系 ,合理地解释了成分梯度对Ti -Al-N系功能梯度薄膜结合力的影响。

引用

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