一种新型多波长绝对距离干涉测量系统的研究

被引：10

作者：

梁晶

龙兴武

张斌

机构：

[1] 国防科技大学光电学院光电工程系

来源：

光学技术 | 2008年 / 05期

关键词：

激光干涉仪; 绝对距离干涉术; 多波长; 相位测量;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2008.05.009

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。

引用

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