共 1 条
[1]
超精密定位中的几项相关关键技术
被引：29
作者：
王波
董申
赵万生
机构：
[1] 哈尔滨工业大学精加工研究室
来源：
关键词：
超精密加工,定位,伺服控制,激光干涉仪;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH16 [机械制造工艺];
学科分类号：
080201 [机械制造及其自动化];
摘要：
通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明
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页数：4
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