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TiAlN与TiCN系涂层磨损机理的比较
被引：5
作者：
张德元
彭文屹
许兰萍
杨春燕
邓鸣
罗文
机构：
[1] 江西省科学院应用物理研究所
来源：
关键词：
TiAlN,TiCN,磨损机理,比较;
D O I：
10.13251/j.issn.0254-6051.1997.02.011
中图分类号：
TG17 [金属腐蚀与保护、金属表面处理];
学科分类号：
080503 ;
摘要：
对多弧离子踱ＴｉＣＮ和ＴｉＡｌＮ薄膜的磨损机理进行了比较，发现ＴｉＡｌＮ以剥落为其主要磨损形式，而ＴｉＣＮ则有一中间层产生于摩擦面，该中间层由Ｔｉ、Ｃ、Ｏ、Ｆｅ等元素构成。
引用
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