TiO2纳米粒子膜表面性质的研究

被引：18

作者：

曹亚安

谢腾峰

张昕彤

管自生

马颍

吴志芸

白玉白

李铁津

姚建年

机构：

[1] 中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,中国科学院感光化学研究所!北京,吉

来源：

物理化学学报 | 1999年 / 08期

关键词：

PECVD方法; TiO2纳米粒子膜; 表面处理; SPS; 表面态;

D O I：

暂无

中图分类号：

O614 [金属元素及其化合物];

学科分类号：

摘要：

TiO2 nanoparticulate films were prepared by means of Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition （PECVD）. By further surface treatment by TiCl4 or O2 plasma, films with dif- ferent surface properties were obtained. It was found that treatment by TiCl4 plasma enhanced the amount of Ti3+ suiface state and Ti dislocation of the film, detected by the surface photovoltage spectroscopy, while O2 plasma surface treating enhanced its amount of O2 surface state. It was also indicated by the H2O adsorption experiment that film treated by O2 plasma had larger separation efficiency for photogenerated carriers than the one treated by TiCl4 plasma.

引用

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