一种基于平膜片挠度的光纤光栅压力传感器

被引：5

作者：

张文涛

刘育梁

李芳

机构：

[1] 集成光电子学国家重点实验室中国科学院半导体研究所

来源：

关键词：

光纤光栅; 膜片; 挠度; 压力;

D O I：

10.16136/j.joel.2008.07.032

中图分类号：

TP212.1 [物理传感器];

学科分类号：

摘要：

设计并实现了一种基于平膜片挠度的光纤光栅压力传感器,该压力传感器利用一个L型的杠杆机构将膜片的挠度转换为光纤光栅的轴向应变,在提高传感器灵敏度的同时避免了对光纤光栅栅区直接封装造成的应力分布不均匀。实验结果表明,该传感器具有良好的线性度和稳定性,其压力灵敏度系数达10.4 nm/MPa。

引用

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