光学基片表面软质抛光胶体粒子的激光清洗

被引：6

作者：

史兴宽

徐传义

任敬心

王健

巴瑞璋

机构：

[1] 西北工业大学精密超精密加工技术研究室!西安

[2] 北京航空工艺技术研究所!北京

来源：

航空精密制造技术 | 2000年 / 03期

关键词：

光学基片; 软质胶体粒子; 激光清洗; 抛光表面;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

摘要：

介绍了光学基片表面软质抛光胶体粒子激光清洗的基本方法、原理和实验装置，并通过对含有污染微粒的基片表面进行激光清洗．获得了高洁净表面的光学基片．

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共 2 条

[1]

高能束热处理[M]. 机械工业出版社 , 刘江龙等编著, 1997

[2]

激光加工物理学基础[M]. 吉林科学技术出版社 , (苏)米尔金(Миркин, 1987