非球面镜检测误差的逆向求解法

被引：7

作者：

张星祥

任建岳

机构：

[1] 中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春

[3] 长春

来源：

关键词：

误差; 误差处理; 逆向求解; 非球面镜;

D O I：

暂无

中图分类号：

V447 [科学探索设备与仪器];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

应用误差理论以及其在数据处理中的方法,根据具体的非球面加工中系统误差与随机误差的存在情况,分析影响精度的实际因素,采用误差消除的逆向求解思想,建立正确的数学模型,进行科学计算得出消除测量误差后的测量数据,正确地把握误差大小的方向,可指导非球面加工的有序进行,以得到理想的非球面面形。

引用

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