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厚膜集成微压传感器的研制
被引：2
作者：
郑惟彬
马以武
刘声雷
机构：
[1] 合肥工业大学!安徽合肥
[2] 中科院合肥智能机械研究所!安徽合肥
来源：
关键词：
厚膜;
传感器;
微压;
D O I：
10.14176/j.issn.1001-3474.2000.01.010
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
介绍了厚膜集成微压传感器的研制过程。此种集成微压传感器的量程为１ ｋＰａ、满量程输出为２５ ｍＶ、非线性小于０ ．２ ％ 、综合精度小于０ ．５ ％ 。
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