用双计算全息图检测凹非球面

被引：25

作者：

谢意

陈强

伍凡

侯溪

张晶

吴高峰

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

来源：

光学学报 | 2008年 / 07期

关键词：

光学测量; 凹非球面; 计算全息图; 零位检验; 自准直检验;

D O I：

暂无

中图分类号：

O438.1 [全息光学];

学科分类号：

摘要：

为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ。通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06λ。为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062λ)比较,结果二者吻合良好。

引用

页码：1313 / 1317

页数：5

共 5 条

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