偏光干涉在物体几何形貌检测中的应用

被引：4

作者：

高翔

张国雄

李真

机构：

[1] 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室天津,天津,天津

来源：

关键词：

晶体双折射; 偏光干涉; 光学非接触测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

提出了一种应用晶体光学原理的新型物体几何形貌检测方法 ,介绍了新方法涉及到的晶体偏光干涉的原理 ,以及基于这个原理的形貌信号检测方法 ,并通过实验得到新方法的测量精度约为 5 μm ,测量范围约为 7mm ,且具有较好的动态特性

引用

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