连续CO2激光对熔石英表面的增强处理研究

被引:2
作者
龚辉
王明利
程雷
夏晋军
李成富
机构
[1] 中国科学院上海光机所
关键词
激光预辐照,激光损伤,激光表面增强;
D O I
暂无
中图分类号
TN249:TQ172.68 [];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
研究了连续CO2激光预辐照对熔石英表面增强的影响,通过CO2激光对熔石英表面均匀加热,用原子力显微镜和偏光显微镜观察了熔石英表面微观结构变化,发现熔石英表面形成压应力层,表面微裂纹和凹凸度减少。并用调Q1.06μm激光对熔石英表面损伤,其损伤阈值提高了1.53倍。
引用
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