YSZ薄膜材料的制备及电导性能

被引：4

作者：

喻维杰，谭启，彭定坤，孟广耀，曹传宝，胡建恺，张裕恒

机构：

[1] 中国科学技术大学

来源：

关键词：

YSZ薄膜，氧离子导体，低频内耗;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG148 [金属陶瓷材料];

学科分类号：

080502 ;

摘要：

检测了用微波等离子体化学气相淀积制备的ＹＳＺ薄膜的光学性能．样品对２３０—９００ｎｍ光的透过率在７２％左右．用交流阻抗谱技术测定了ＹＳＺ薄膜在１００—７００℃的电导性能、以倒扭摆法检测了样品的低频内耗．并分析了ＹＳＺ薄膜中氧空位激活和晶界原子弛豫引起的电导变化．

引用

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