含轻元素二元合金成分的无标样X光能谱定量分析

本文对利用试样中不同元素X光强度相对比值分析成分的无标样定量分析方法提出了改进。首先对电子散射的“完全扩散”模型进行适当的修正和简化,得到标识X光的台阶状深度分布曲线,从而得到试样成分和标识X光强度的定量关系。对Cu-Si,FeS2,NaCl和GaAs等二元合金的成分分析得到比较满意的结果。本文比较了用此法和Russ法（利用计算得到的纯元素标识X光强度因子并且经ZAF修正分析成分）得到的结果,表明用我们的方法分析的结果有所改善,计算程序也更简单。