极紫外三维小孔矢量衍射波面质量分析

被引：25

作者：

卢增雄 ^{[1
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]}

金春水 ^{[1
]}

张立超 ^{[1
]}

王丽萍 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光学学报 | 2010年 / 30卷 / 10期

关键词：

光学检测; 相移点衍射干涉仪; 矢量衍射; 三维小孔; 波面误差; 强度均匀性;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436.1 [干涉与衍射];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度,其中小孔的直径是最主要的因素,在实际加工前,需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论,分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下,小孔直径大小对衍射波面质量的影响。入射光的线性偏振,给衍射波面中引入了像散和彗差。分析计算得出,为了获得数值孔径(NA)为0.1,相对于理想球面波的均方根(RMS)偏差不大于0.005λ(λ=13.55 nm),强度均匀性为0.4的参考球面波,对90 nm厚的小孔选择直径大小为70 nm较为适宜。

引用

页码：2849 / 2854

页数：6

共 9 条

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