非晶态硅的等离子体化学反应制备技术

非晶态硅是近十多年来迅速发展起来的新型电子材料。它在能源器件—太阳能电池等多种器件和集成电路中都有重要的应用。等离子体技术是一种新技术,其应用范围十分广阔,也是制备非晶态硅的主要方法。本文阐述了等离子体的产生及其特性,等离子体化学反应和非晶态硅薄膜的制备技术,给出了工艺参数和若干测量结果。