Cu/Ni多层膜对Ti811合金微动磨损和微动疲劳抗力的影响

被引：10

作者：

张晓化 ^{[1
]}

刘道新 ^{[1
]}

刘国华 ^{[1
]}

王振亚 ^{[1
]}

唐宾 ^{[2
]}

机构：

[1] 西北工业大学

[2] 太原理工大学

来源：

稀有金属材料与工程 | 2011年 / 40卷 / 02期

关键词：

微动疲劳; 微动磨损; 纳米多层膜; 磁控溅射; 钛合金;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

在Ti811钛合金表面利用离子辅助磁控溅射沉积技术制备20～1200nm不同调制周期的Cu/Ni金属多层膜,分析多层膜的结构,测试膜基结合强度、膜层显微硬度和韧性,对比研究不同调制周期的Cu/Ni多层膜对钛合金基材常温下微动磨损性能和微动疲劳(FF)抗力的影响。结果表明:利用离子辅助磁控溅射技术可以获得致密度高、晶粒细化、膜基结合强度高的Cu/Ni多层膜,该类多层膜具有良好的减摩润滑作用,因而改善了Ti811钛合金常温下抗微动磨损和微动疲劳性能;Cu/Ni多层膜对钛合金FF抗力的改善程度随膜层调制周期呈现非单调变化趋势,调制周期为200nm的Cu/Ni多层膜对钛合金FF抗力的提高程度最大,原因归于该膜层具有良好的强韧和润滑综合性能。

引用

页码：294 / 300

页数：7

共 4 条

[1] 小能量多冲法对物理气相沉积膜层机械性能的评价 [J].